Macchina Litografica Allineatore di Maschera Macchina di Fotoincisione
Introduzione di u produttu
A fonte di luce di esposizione adotta LED UV impurtati è modulu di furmazione di fonte di luce, cù un calore chjucu è una bona stabilità di a fonte di luce.
A struttura di illuminazione inversa hà un bon effettu di dissipazione di u calore è un effettu di vicinanza di a fonte luminosa, è a sustituzione è a manutenzione di a lampada à mercuriu sò simplici è pratiche. Equipata cù un microscopiu binoculare à doppiu campu à altu ingrandimentu è un schermu LCD à grande scala di 21 pollici, pò esse allineata visivamente attraversu
oculare o display CCD +, cù alta precisione di allineamentu, prucessu intuitivu è funziunamentu convenientu.
Funziunalità
Cù a funzione di trasfurmazione di frammenti
A pressione di cuntattu di livellazione assicura a ripetibilità attraversu u sensore
U spaziu di allineamentu è u spaziu di esposizione ponu esse impostati digitalmente
Utilizendu l'urdinatore integratu + l'operazione di u touch screen, simplice è cunveniente, bellu è generosu
Piastra di tipu pull up and down, simplice è pratica
Supporta l'esposizione à u cuntattu à u vacuum, l'esposizione à u cuntattu duru, l'esposizione à u cuntattu à pressione è l'esposizione à a prossimità
Cù a funzione d'interfaccia nano impronta
Esposizione à un solu stratu cù una sola chjave, altu gradu di automatizazione
Questa macchina hà una bona affidabilità è una dimostrazione pratica, particularmente adatta per l'insignamentu, a ricerca scientifica è e fabbriche in i culleghji è l'università
Più dettagli
Specificazione
1. Zona d'esposizione: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Lunghezza d'onda di esposizione: 365 nm;
3. Risoluzione: ≤ 1m;
4. Precisione di l'allineamentu: 0,8 m;
5. A gamma di muvimentu di a tavula di scansione di u sistema di allineamentu deve almenu rispettà: Y: 10 mm;
6. I tubi di luce sinistra è diritta di u sistema d'allineamentu ponu spustassi separatamente in e direzzione X, y è Z, direzzione X: ± 5 mm, direzzione Y: ± 5 mm è direzzione Z: ± 5 mm;
7. Dimensione di a maschera: 2,5 pollici, 3 pollici, 4 pollici, 5 pollici;
8. Dimensione di u campione: frammentu, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Adattu per u spessore di u campione: 0,5-6 mm, è pò supportà pezzi di campione di 20 mm à u massimu (persunalizatu);
10. Modu d'esposizione: timing (modu di contu à rebours);
11. Mancanza d'uniformità di l'illuminazione: <2,5%;
12. Microscopiu d'allineamentu CCD à dui campi: lente zoom (1-5 volte) + lente obiettiva di u microscopiu;
13. A corsa di muvimentu di a maschera in relazione à u campione deve almenu currisponde à: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Densità di energia di esposizione: > 30 MW / cm2,
15. ★ A pusizione d'allineamentu è a pusizione d'esposizione funzionanu in duie stazioni, è u servomotore di e duie stazioni cambia automaticamente;
16. A pressione di cuntattu di livellazione assicura a ripetibilità per mezu di u sensore;
17. ★ U spaziu di allineamentu è u spaziu di esposizione ponu esse impostati digitale;
18. ★ Hà una interfaccia di nano impronta è una interfaccia di prossimità;
19. ★ Funzionamentu di u schermu tattile;
20. Dimensione generale: Circa 1400 mm (lunghezza) 900 mm (larghezza) 1500 mm (altezza).
