A lithografia macchina a macchina alegnaco Foto-Incluck macchine
Introduzione di u Produttu
L'esposizione à a fonte di a luce di l'esposizione à l'UV è u Modulu di Shaping Light è Light Source, cù u calore chjucu è una bona stabilità di fonte ligera.
A struttura di illuminazione invertita hà un bonu effettu di dissipazione è fonte ligera, è a rimpiazione di u mercuriu è u mantenimentu sò simplici è cunvene. Equipatu di un microscope di u campu di u campu di u mentiu binocolariu di u magnificu di u mentidiu binoculare in magnifico
eyepiece o CCD + visualizazione, cù l'accuratezza alta di l'allinjamentu, u prucessu intuitivu è l'operazione conveniente.
Caratteristiche
Cù funzione di trasfurmazioni di frammentu
A pressione di cuntattu di livellu assicura a ripetibilità à traversu u sensore
L'allinjamentu gap è u gap di esposizione pò esse stabilitu digitale
Aduprendu l'operazione di l'informatica + Touch Extensded, simplice è conveniente, bello è generoso
Tirà Tipu è u Piattu Semplice, Simple è Conveniente
Esposizione Esposizione di Contattu di u Cuntattamentu di u Cuntattamentu di u Cuntattamentu Duratu, Esposizione di Contattu di Press Esposizione è l'esposizione di a prossimità
Cù a funzione di interfaccia Nano impronta
Esposizione sola di strata cù una chjave, altu gradu di automatizazione
Sta macchina hà una bona dimensione è a dimustrazione cunvenevule è simodica adattata per l'insignamentu, e fattoria scientifica in i fattori scientificti in cullezzione è università
Più dettagli
Specificazione
1. Area di esposizione: 110mm × 110mm;
2. ★ Esposizione d'onda d'onda: 365nm;
3. Risoluzione: ≤ 1m;
4. A precisione di l'allinjamentu: 0.8m;
5. U muvimentu di u muvimentu di a tavola di scanning di u sistema di l'allinjamentu duverà almenu scuntrà: Y: 10mm;
6. I tubi di luce à manca è di u dirittu ponu move in separatamente in X, Y è Z Word, X direzzione: ± 5m, di direzzione: ± 5m è z;
7. Dimensione di maschera: 2,5 pollici, 3 inchi, 4 pollici, 5 pollici;
8. Size di campione: frammentu, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Adatta per a mostra di mostra: 0,5-6mm, è pò sustene 20mm di sample pezzi à a maiò parte (persunalizata);
10. Modu di esposizione: Tempu (Modu Countdown);
11. Micca uniformità di illuminazione: <2,5%;
12. Microscope di l'allinjamentu di u campu CCD di Dual CCD: Lente di Zoom (1-5 volte) + lente d'ughjettivu di microscope;
13. U colpu di u muvimentu di a maschera relative à a mostra almenu incontru: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º;
14. ★ Densità Energia Esposizione:> 30 mw / cm2,
15. ★ L'alignità di pusizione è a pusizione di esposizione travaglia in duie stazioni, è i dui station Motor Switches automaticamente;
16. Pressione di cuntattu nulla assicura a ripetutabilità attraversu u sensore;
17. ★ L'elencu di l'allinjamentu è a gap di esposizione pò esse stabilitu digitale;
18. ★ Ùn hà nano impronta interfaccia è interfaccia di prossimità;
19. ★ Tocca l'operazione di u screnu;
20. A dimensione generale: circa 1400mm (lunghezza) 900mm (larghezza) 1500mm (altezza).
